UNE-EN 62047-3:2006 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 3: Probeta estándar de película delgada para ensayos de tracción (IEC 62047-3:2006) (Ratificada por AENOR en enero de 2007.)
2007UNE-EN 62047-3:2006 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 3: Probeta estándar de película delgada para ensayos de tracción (IEC 62047-3:2006) (Ratificada por AENOR en enero de 2007.)