ISO 17109:2022 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Método para determinar la velocidad de pulverización catódica en espectroscopia de fotoelectrones de rayos X, espectroscopia de electrones Auger y espectrometría de masas de iones secundarios. Profundidad de pulverización p. normas y especificaciones

Alcance: Este documento especifica un método para la calibración de la profundidad de pulverización catódica de un material a partir de una medición de su velocidad de pulverización catódica en condiciones de pulverización catódica establecidas utilizando una muestra de referencia de una o varias capas con capas del mismo material que el que requiere calibración de profundidad. El método tiene una precisión típica en el rango del 5 % al 10 % para capas de 20 nm a 200 nm de espesor cuando se perfila la profundidad de pulverización utilizando AES, XPS y SIMS. La tasa de pulverización catódica se determina a partir del espesor de la capa y el tiempo de pulverización catódica entre las interfaces relevantes en la muestra de referencia y esto se utiliza con el tiempo de pulverización catódica para dar el espesor de la muestra que se va a medir. La tasa de pulverización iónica determinada se puede utilizar para la predicción de tasas de pulverización iónica para una amplia gama de otros materiales, de modo que las escalas de profundidad y los tiempos de pulverización en esos materiales se puedan estimar a través de valores tabulados de rendimientos de pulverización y densidades atómicas.

ISO 17109:2022 Historia

2022 ISO 17109:2022 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Método para determinar la velocidad de pulverización catódica en espectroscopia de fotoelectrones de rayos X, espectroscopia de electrones Auger y espectrometría de masas de iones secundarios. Profundidad de pulverización p.
2015 ISO 17109:2015 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad - Método para la determinación de la velocidad de pulverización catódica en espectroscopia fotoelectrónica de rayos X, espectroscopía de electrones Auger y espectrometría de masas de iones secundarios perfilado de profundidad de pulverización catódica utilizando películas delgadas de una o varias capas