Esta Especificación Técnica contiene términos y definiciones relacionados con los procesos de nanofabricación en el campo de las nanotecnologías. Representa parte de una documentación de varias partes sobre terminología y especificaciones que cubre los diversos aspectos de las nanotecnologías. Todos los términos del proceso en este documento se aplican a la nanofabricación. Muchos de los procesos enumerados no son exclusivamente relevantes a la nanoescala. Dependiendo de las condiciones controlables, estos procesos pueden conducir a propiedades de los materiales a escala nanométrica o, alternativamente, a escalas mayores. Hay muchos otros términos relacionados con la nanofabricación que se refieren a herramientas, piezas, materiales, procedimientos de control de sistemas o procedimientos de metrología, pero están fuera del alcance de este documento.
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ISO 2080:2008 Recubrimientos metálicos y otros recubrimientos inorgánicos - Tratamiento de superficies, recubrimientos metálicos y otros recubrimientos inorgánicos - Vocabulario