JEITA EM3603B-2006
Estándar de obleas SOI y metrología.

Estándar No.

JEITA EM3603B-2006

Fecha de publicación

2006

Organización

JP-JEITA

Alcance

Este estándar especifica el estándar de obleas SOI de película delgada para dispositivos MOS y su metrología.