(U.S.) Joint Electron Device Engineering Council Soild State Technology Association
Alcance
Este documento define un procedimiento de prueba de estrés de voltaje constante para caracterizar la ruptura dieléctrica dependiente del tiempo o el "desgaste" de dieléctricos de puerta delgada. La prueba está diseñada para obtener los parámetros de aceleración de voltaje y temperatura necesarios para estimar la vida útil del óxido en las condiciones de uso. A diferencia de las pruebas de rampa altamente aceleradas que están diseñadas para ser extremadamente rápidas y realizadas a nivel de oblea, el procedimiento de prueba de voltaje constante puede realizarse durante largos períodos de tiempo. Puede aplicarse a nivel de oblea o con dispositivos empaquetados.