ANSI/CGA G-13-2006
Almacenamiento y manipulación de silano y mezclas de silano

Estándar No.
ANSI/CGA G-13-2006
Fecha de publicación
2006
Organización
American National Standards Institute (ANSI)
Alcance
Describe el almacenamiento y manipulación de silano y mezclas de silano, incluidos métodos prácticos aplicables para fabricantes, proveedores y usuarios finales de silano. El G-13 aborda los sistemas de suministro de silano en cilindros y a granel para la comunidad de usuarios de semiconductores; incluido el almacenamiento y manipulación en el sitio del usuario y pautas para el sistema de tuberías de interconexión hasta las tuberías de distribución en las instalaciones de fabricación. Se recomiendan distancias de retroceso en función de la radiación de calor, así como de la sobrepresión producida por los efectos de la explosión debido al retardo de ignición.

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