La Hoja de Ruta Internacional de Tecnología para Semiconductores (ITRS) de 2005 predice que el uso de la tecnología de diseño asistido por computadora (TCAD) proporcionará una reducción de hasta el 40 por ciento en los costos de desarrollo de tecnología al reducir el número de lotes experimentales y acortar el tiempo de desarrollo de los semiconductores. la industria de semiconductores. En un entorno de fabricación altamente competitivo, es necesario aprovechar al máximo el poder predictivo de TCAD para reducir los costos y el tiempo de desarrollo de productos. Actualmente, la simulación de procesos y dispositivos se ha consolidado como una herramienta indispensable para desarrollar y optimizar tecnologías de dispositivos y procesos microelectrónicos en la fase de RD. Con el dispositivo, la extracción de parámetros de modelos compactos para análisis de circuitos @ TCAD se puede extender a la fabricación para un control avanzado de procesos y un análisis de rendimiento paramétrico. Cada capítulo garantiza la cobertura de resultados de investigación TCAD actualizados para dispositivos de última generación y una lista completa de referencias fundamentales. En resumen@ este libro llena un vacío en la literatura en un campo en rápida evolución@ ya que combina una amplia descripción de las actividades de TCAD en materiales de Si@ SiGe y GaAs@ tecnología@ dispositivos y sus aplicaciones. Una extensa lista de referencias proporcionada en cada capítulo ayudará al lector a identificar las etapas clave en el desarrollo de TCAD desde las primeras investigaciones hasta su integración en la fabricación actual. Autor(es) CK Maiti@ GA Armstrong